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電子顕微鏡画像から画角に写っていないパーツの位置を推定するAI技術

電子顕微鏡を利用した半導体製造工程における外観検査では、高精度かつ効率的な位置合わせと検査の自動化が求められます。 Ridge-iは日本電子株式会社との共同プロジェクトにより、画角内に写っていないパーツの位置を周辺情報から高精度に推定するAI技術を開発しました。従来、熟練技術者の経験に頼っていた位置合わせ工程を自動化し、検査プロセスの効率化を実現します。

技術の特徴

1. 画角外パーツの高精度推定

対象パーツが画角の外側にある場合でも、画像内に映り込む周辺構造の情報を手がかりに、パーツの現在地を正確に特定します。

2. 自律的なアライメントによる自動化

画角内に周辺情報が一部でも含まれていれば、AIがパーツ位置を推定し、自動的に画角中央へ移動させる制御を実現します。これにより、従来は熟練技術者が手動で行っていた位置合わせを不要にし、人手を介さない外観検査を可能にします。

3.「探す手間」の削減による検査効率の向上

対象を探索する時間を削減することで、検査プロセス全体のスピードを向上させます。電子顕微鏡画像下でも安定して動作する、実用性の高いAIモデルです。

活用シーン

• 半導体製造・研究開発における外観検査

画角外パーツの位置推定により、検査対象の特定を効率化

• 製造ラインにおける高精度位置合わせ（アライメント）

位置合わせ工程の自動化により、人手作業の削減と作業の標準化を実現

• 透過電子顕微鏡（TEM）による自動撮影

位置推定技術を活用し、撮影工程の自動化と連続運用を支援

今後の展望

半導体検査におけるAIは、単なる検査支援にとどまらず、検査プロセス全体の自動化と高度化を実現する技術として期待されています。

Ridge-iは、画像解析AIと位置推定技術を組み合わせることで、継続的に進化する検査ソリューションの実現を支援します。